Ang vacuum carburizing ay upang painitin ang workpiece sa vacuum.Kapag naabot nito ang temperatura sa itaas ng kritikal na punto, mananatili ito sa loob ng isang panahon, mag-degass at mag-alis ng oxide film, at pagkatapos ay ipasa ang purified carburizing gas para sa carburizing at diffusion.Ang temperatura ng carburizing ng vacuum carburizing ay mataas, hanggang sa 1030 ℃, at ang bilis ng carburizing ay mabilis.Ang aktibidad sa ibabaw ng mga carburized na bahagi ay pinabuting sa pamamagitan ng degassing at deoxidizing.Ang kasunod na bilis ng pagsasabog ay masyadong mataas.Ang carburizing at diffusion ay isinasagawa nang paulit-ulit at halili hanggang sa maabot ang kinakailangang konsentrasyon at lalim sa ibabaw.
Ang lalim ng vacuum carburizing at konsentrasyon sa ibabaw ay maaaring kontrolin;Maaari nitong baguhin ang mga katangian ng metalurhiko ng ibabaw na layer ng mga bahagi ng metal, at ang epektibong lalim ng carburizing nito ay mas malalim kaysa sa aktwal na lalim ng carburizing ng iba pang mga pamamaraan.